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                  萊特萊德【始創于2002年】
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                  半導體企業應用超純水設備項目正式運行

                  作者:發布時間:2021-01-12

                    一、項目名稱

                    江陰某半導體企業應用超純水設備項目

                    二、項目背景

                    半導體材料是半導體產業鏈上游中的重要組成部分,在集成電路、分立器件等半導體產品生產制造中起到關鍵性的作用。目前全球的半導體產業鏈正向中國大陸轉移,中國晶圓廠擴產的步伐已逐漸加快。伴隨著國內晶圓廠的投產,將產生更多半導體材料的需求,市場需求空間已被打開,由于半導體元件集成度高,生產線窄,對水質的要求特別高,超純水成為了電子行業用水的“標配”。

                    三、項目工藝

                    自來水進入原水箱,通過原水泵增壓,經砂濾器、炭濾器、阻垢劑加藥、保安過濾器,到達反滲透單元,經兩級反滲透過濾進入EDI單元,達到電阻率15MΩ·cm(25℃)進入純水水箱。純水供水設計為循環方式,經純水供水泵增壓,通過紫外線消毒器、拋光混床接入純水供水管,到達使用點。

                    四、設備公共條件需求

                    1、原水要求:進水水量≥13m3/h,進水壓力0.3-0.4MPa(恒壓)。

                    2、電源要求:電壓:380V 50Hz和220V 50Hz。

                    3、排水要求:設備附近1米需要業主提供排水溝或者排水管。

                    4、設備間要求:設備間溫度15-35℃,通風和照明設備。

                    5、氣源要求:氮氣≥99.999%

                    6、工程范圍:設備進出水口1米處。

                    五、萊特萊德超純水設備設計原則

                    1、采用先進、實用、可靠的水處理技術,確保處理后的水穩定達標。嚴格執行國家環保政策,符合國家有關法律、法規、標準、規范以及地方法規;

                    2、根據進出水要求,選用成熟可靠、高效節能、占地少、經濟實用的處理工藝,確保處理效果,減少項目投資及日常費用;

                    3、工藝流程簡潔通暢,整體布置簡潔、合理、美觀符合廠區統一規劃,要求水處理設施布局與周邊環境協調,不對周邊環境造成二次污染;

                    4、控制總體投資,工程造價合理,保證長期安全平穩運行,降低日常運行成本;

                    5、管線合理布置充分利用現有的設置及現有的地形條件;處理施設整體工程施工周期短,安裝、檢修方便,易于管理;安全措施得當,避免隱患。

                    6、各功能模塊優化組合而成,從而保證了整個系統的高性能與高質量,使產品水完全達到甚至優于用水水質標準。

                    7、在保證系統穩定、可靠運行的前提下,設計上提高整個系統的自動化水平;主要設備選擇以先進、成熟為原則,盡量降低工程投資和運行費用。

                    萊特萊德超純水設備中水箱均設有液位控制系統、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人值守,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統一的方法,使設備與其它同類產品相比較,具有更高的性價比。

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